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　　盡管2009年全球經歷了空前的經濟危機，但是MEMS市場并未受到影響，市場規模幾乎與2008持平，出貨量與2008年同期相比大約增長了10%。這些數據表明，MEMS在消費電子市場的滲透率正在不斷提高。iSuppli最新一份市場研究報告顯示，2010年及以后的MEMS市場前景光明，預計2010年MEMS市場將重新恢復兩位數的增幅，而2009-2013期間的總年復合增長率更是會達到12.2%。

    事實上，MEMS傳感器是消費電子實現創新應用不可或缺的關鍵元器件。近年來，從游戲機到手機，從筆記本電腦到白色家電，很多消費電子產品都利用低g加速計實現了運動控制的用戶界面和增強型保護系統。現在，該輪到MEMS陀螺儀和地磁感應計發揮作用，推動新一波令人興奮的創新應用高速增長。

    有關能夠測量線性加速度的MEMS加速計的技術文章已經很多，因此，本文基本不涉及加速傳感器，而是將更多筆墨留給陀螺儀、地磁感應計等具有多個自由度檢測功能的元器件。

　　MEMS陀螺儀

    陀螺儀能夠測量沿一個軸或幾個軸運動的角速度，是補充MEMS加速計功能的理想技術。事實上，如果組合使用加速計和陀螺儀這兩種傳感器，系統設計人員就可以跟蹤并捕捉三維空間的完整運動，為最終用戶提供現場感更強的用戶使用體驗、精確的導航系統以及其它功能。

    ST在MEMS市場的份額正在快速增長。作為全球公認的消費電子和手機市場最大的MEMS傳感器供應商，ST最近推出了30款以低功耗和小封裝為特色的高性能陀螺儀。

    ST陀螺儀的核心元件是一個微加工機械單元，在設計上按照一個音叉機制運轉，利用科里奧利原理把角速率轉換成一個特定感應結構的位移。我們以一個單軸Z軸陀螺儀為例，探討最簡單的工作原理(圖1)。兩個正在運動的質點向相反方向做連續運動，如藍色箭頭所示。只要從外部施加一個角速率，就會出現一個科里奧利力，力的方向垂直于質點運動方向。產生的科里奧利力使感應質點發生位移，位移大小與所施加的角速率大小成正比。因為，傳感器感應部分的運動電極(轉子)位于固定電極(定子)的側邊，上面的位移將會在定子和轉子之間引起電容變化，因此在陀螺儀輸入部分施加的角速率被轉化成一個專用電路可以檢測的電參數。

圖 1:單軸MEMS偏航陀螺儀

    ST研制的微機械陀螺儀傳感器沿用了ST成功的制造技術，這項技術已為ST制造了6億多顆加速傳感器，選擇成功的技術可為客戶提供最先進的質量可靠的產品，而且可直接用于最終應用。因為ST選用了音叉方法設計陀螺儀，其差分特性使系統本身對作用在傳感器上的無用線性加速度和雜亂振動的敏感度低于市場上現有的其它類型陀螺儀。當這些無用的信號被施加到陀螺儀上時，兩個質點就會沿相同方向位移，在一個差分測量后，最終的電容變化將視為無效。

　　在系統方面，陀螺儀的信號調節電路可簡化為電機驅動部分和加速傳感器感應電路兩部分(圖2)：

圖 2:一個單軸偏航MEMS陀螺儀的結構簡圖

　　- 電機驅動部分通過靜電驅動方法，使機械元件前后振蕩，產生諧振；

　　- 感應部分通過測量電容變化來測量科里奧利力在感應質點上產生的位移，這是一個穩健、可靠的技術，被成功地用于ST的MEMS產品線，能夠提供強度與施加在傳感器上的角速率成正比的模擬或數字信號。

    控制電路內部嵌入了先進的電源關斷功能，可以在不需要傳感器功能的時候關閉整個傳感器，或讓其進入深度睡眠模式，從而大幅降低陀螺儀的總功耗；但是，無論何時接收到用戶指令，傳感器都可以立刻被喚醒，來檢測傳感器上施加的角速率。

    與ST的MEMS加速計類似，MEMS陀螺儀也沿用一個系統級封裝(SIP)方法，機械感應元器件與其調節ASIC電路放在同一個封裝內。智能設計方法結合先進的封裝解決方案使得該系列產品的封裝尺寸大幅縮減，多軸陀螺儀的系統封裝面積僅為3x5mm2 ，最大厚度僅為1mm(圖3)，同時在最終產品的生命周期內確保傳感器的穩定性和高性能。

 
圖 3:采用超小LGA封裝的ST多軸陀螺儀